Đồng mô phỏng nhiệt - cơ cho cảm biến gia tốc ba chiều

Trong quy trình thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp điện trở thì việc xác định vị trí các áp điện trở cần dùng phân tích cơ trong ANSYS và các áp điện trở này kết nối thành ba mạch cầu Wheastone tương ứng sao cho khuếch đại tối đa tín hiệu mong muốn và giảm thiểu nhiễu pháp tuyến. Bài toán đồng mô phỏng giữa các trường nhiệt - cơ cũng cần được giải quyết cho phép đánh giá chính xác hơn hoạt động của cảm biến.

...

Từ khóa: Đồng mô phỏng nhiệ, hệ thống cảm biến, vi điện tử, kỹ thuật cảm biến, hệ thống cảm biến, thiết kế hệ thống cảm biến