Nghiên cứu chế tạo cảm biến màng mỏng WO3 ứng dụng đo khí C2H5OH

Cảm biến màng mỏng WO3 được chế tạo thành công từ bia nguồn W sử dụng kết hợp phương pháp phún xạ phản ứng (reactive sputtering) kết hợp với kỹ thuật quang khắc (photolithography). Chiều dày màng mỏng, vi cấu trúc và hình thái bề mặt của vật liệu được khảo sát bằng thiết bị đo chiều dày màng mỏng (α-step), giản đồ nhiễu xạ tia X và kính hiển vi điện tử quét.

Từ khóa: Tạp chí Khoa học và Công nghệ, Màng mỏng WO3, Cảm biến khí, Kỹ thuật quang khắc, Phương pháp phún xạ phản ứng